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JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS

主办单位:Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.

出版周期: 未知

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感兴趣的主题包括但不限于: 从微米到毫米的器件,集成电路兼容的制造技术,其他制造技术,微现象的测量,理论结果,新材料和设计,微型执行器,微型机器人,微型电池,轴承,磨损,可靠性,电气互连,微型远程操作和适合MEMS的标准。在流体学、光学、生物医学工程等领域的应用实例和面向应用的设备也是人们关注的焦点。
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